日立製作所-底堅い 微小振動を高感度・低消費電力で検出できるMEMS加速度センサー開発
日立製作所<6501.T>が底堅い。同社は22日に、MEMS技術と回路技術を高度に融合することで、地盤や構造物からの微小振動を高感度かつ低消費電力で検出できるMEMS加速度センサーを開発したと発表した。
資源探査などに用いられている加速度センサーと同等の高感度を、従来の半分以下の消費電力で実現するという。今後同社は、開発したセンサーを次世代の資源探査やインフラモニタリングなど、高感度かつ低消費電力で振動を計測することが求められるアプリケーションに適用し、快適で安心・安全な社会の実現に貢献するとしている。
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