レーザーテック-続伸 薄型ディスプレー用大型マスクブランクス欠陥検査装置を改良
レーザーテック<6920.T>が続伸。22日付の日刊工業新聞で、同社が、薄型ディスプレー(FPD)用大型マスクブランクス(原版)欠陥検査装置「LBIS(エルビス)」を改良し、近く投入すると報じられた。
これまで検出が難しかった薄い反射防止膜が剥がれた、なだらかな欠陥(AR膜ミッシング)を好感度に検出できるという。今後の業績拡大への貢献が期待され、買いが向かっている。
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